Beschleunigungssensorchips
In der Abteilung
amt/Mikrotechnik werden mikromechanische Beschleunigungssensorelemente entwickelt
und hergestellt. Als Standardmessbereiche sind 0..2g und 0..50g verfügbar.
Elemente mit anderen Messbereichen können auf Anfrage geliefert werden. Die
Sensorelemente zeichnen sich durch hohe Linearität und Messgenauigkeit
aus.
Die Wandlerelemente sind nach dem Differentialkondensatorprinzip in
einer Sandwichbauweise Glas-Silizium-Glas ausgeführt. Die Mittelelektrode aus
Silizium ist beweglich und bildet mit zwei symmetrisch angeordneten starren
Gegenelektroden zwei Kondensatoren. Bei einer Beschleunigung ändern sich die
Kapazitäten beider Kondensatoren gegensinnig um den gleichen Betrag.
Diese
Kapazitätsänderung kann durch eine nachfolgende Auswerteelektronik z. B. in ein
Spannungssignal oder ein pulsmoduliertes Signal umgewandelt werden.
Die
Si-Wafer und die Glassubstrate werden komplett am ifw
prozessiert
(Beschichtung, Fotolithografie, Metallisierung, Bonden,
Vereinzeln der Chips).
Datenblatt