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Geschichtliches
- 1994 - 1997
Nach dem erfolgreichen Start der Geschäftstätigkeit des ifw wurde beschlossen, das Forschungs- und Dienstleistungsprofil um das Gebiet Mikrotechnik zu erweitern. Das Institut für Fügetechnik und Werkstoffprüfung sollte damit in die Lage versetzt werden, das komplette Spektrum der Fügetechniken, beginnend bei der klassischen Schweißtechnik über Sonderfügetechnologien und Laserfügeverfahren, bis hin zu den Mikrofügetechniken aus einer Hand anzubieten.
Die Abteilung amt/Mikrotechnik wurde im Jahr 1994 gegründet. Zunächst nahmen 4 Mitarbeiter, welche bereits umfangreiche Erfahrungen aus Tätigkeiten in renommierten Industrieunternehmen einbringen konnten, ihre Tätigkeit auf und begannen mit Forschung, Entwicklung und Dienstleistungen auf den Gebieten der Fertigung optoelektronischer Bauelemente und der Mikrofügetechniken.
Bereits mit der Gründung des Arbeitsgebietes war klar, dass im Bereich der Mikrotechnik die Technologieschritte des Fügens nicht losgelöst von den übrigen Technologien der Mikrosystemtechnik, wie Dünnschichttechnik, Fotolithografie usw. gesehen werden können. So erfolgte konsequenterweise der Aufbau einer kompletten Technologiestrecke, beginnend bei der Fotolithografie übe nasschemische Prozesse bis hin zu Technologien der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT).
Der Bereich Mikrotechnik vertrat von vornherein die Linie einer engen Verzahnung von wirtschaftsnaher Forschungseinrichtung und Dienstleistungen für die Industrie. Der notwendige Forschungs- und Entwicklungsvorlauf wurde dabei in hohem Maße durch die Bearbeitung von Förderprojekten gesichert.
Anfänglich konzentrierten sich die F&E-Aktivitäten vorrangig auf die Entwicklung von Technologien zur Herstellung von Mikrostrukturkomponenten und Mikrosystemen.
Ein wichtiger Höhepunkt der Entwicklung des Bereiches Mikrotechnik war 1998 die Arbeitsaufnahme des Applikationszentrums Mikrotechnik. Das Applikationszentrum Mikrotechnik – amt wurde gemeinsam von der Fraunhofer-Einrichtung Jena IOF und dem ifw Jena in Betrieb genommen. Die Anzahl der in der Mikrotechnik tätigen Mitarbeiter des ifw war mittlerweile auf 10 angewachsen.
- 1998 - 2003
Mit zunehmender Technologiekompetenz wurden auch Projekte zur Entwicklung von Produkten bearbeitet. Begonnen wurde 1998 mit der Produktion von mikromechanischen Beschleunigungssensorchips im Applikationszentrum Mikrotechnik. Die Fertigungslinie und das Know-how hierfür wurden eingekauft und bildeten die Keimzelle für eigene Entwicklungen auf dem Gebiet der Mikrosensorik. So wurde seither eine Reihe von Förderprojekten bearbeitet, welche die Modifikation, Weiterentwicklung und Applikation mikromechanischer Beschleunigungssensoren, aber auch völlig neue Produktentwicklungen, zum Ziel hatten.
Das flussmittelfreie Weichlöten und das Anodisches Bonden von Glaskeramik mit Silizium werden seit 2001 als weitere technologische Schwerpunkte bearbeitet und entwickelt.
Das Verfahren Weichlöten konnte im Rahmen verschiedener Förderprojekte als geeignetes Verfahren zum Einhausen und zum Fügen von Komponenten der Mikrooptik und Mikrosensorik, welche höheren Temperaturbeanspruchungen ausgesetzt sind, qualifiziert werden.
Das Anodische Bondenvon Glaskeramik mit Silizium eröffnete eine Reihe neuer Anwendungen im Bereich der Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik vor allem dort, wo es um höhere Temperaturbelastbarkeiten und chemische Beanspruchungen geht und z. B. das Kleben als Fügeverfahren ungeeignet ist.
Der Einstieg in Themengebiete mit Bezug zur Medizintechnik erfolgte ebenfalls im Jahr 2001. Im Rahmen einer Kooperation mit dem Physiologischen Institut der Friedrich-Schiller-Universität wurden Chips für physiologische Zelluntersuchungen entwickelt. Die Chips werden in der medizinischen Grundlagenforschung zur Untersuchung an lebenden Herzzellen eingesetzt. Am ifw erfolgten die technologische Umsetzung und die Produktion dieser Chips.
Darüber hinaus gibt es mittlerweile enge Kooperationsbeziehungen zu Jenaer Unternehmen der Biotechnologie. Hier agiert die Abteilung Mikrotechnik vorrangig als Technologiedienstleister für bestimmte Fertigungsschritte der Dünnschichttechnologie und der Chipvereinzelung.
- Das Applikationszentrum Mikrotechnik heute und
künftig
Heute ist das Applikationszentrum Mikrotechnik ein leistungsfähiges Team mit hoher Innovationskraft, welches über ein weites Spektrum an Kompetenzen auf dem Gebiet der Mikrotechnik und Mikrosystemtechnik verfügt. Besonders Augenmerk wurde in jüngster Vergangenheit vor allem auf den Auf- und Ausbau wirtschaftlich tragfähiger Kooperationsbeziehungen zu Klein- und mittelständischen Technologieunternehmen in der Region und bundesweit gelegt.Die Bearbeitung von Förderprojekten orientiert sich in verstärktem Maße an Kooperationen im Bereich Technologiedienstleistungen und Produktentwicklungen. Darüber hinaus wird im Rahmen vom Land Thüringen geförderter Vorhaben der Grundlagenforschung sowie in Zusammenarbeit mit Hochschulen und anderen Forschungseinrichtungen der notwendige Entwicklungsvorlauf geschaffen.
Die künftige Ausrichtung des Applikationszentrums Mikrotechnik wird sich vor allem am Bedarf von Klein- und Mittelständischen Unternehmen der Sensorikbranche an Primärwandlern in Chipform für bestimmte Sensoren und an Technologiedienstleistungen orientieren. Im Bereich der Chipfertigung soll vor allem die Kompetenz als flexibler Entwickler und Zulieferer kleiner Stückzahlen weiter ausgebaut werden. Die technologische Basis wird weiterhin durch die Dünnschichttechnik, die Fotolithografie und die Mikrofügeverfahren bestimmt werden, wobei durch die ständige Weiterentwicklung von Technologien sowie die Modernisierung von Anlagen und Ausrüstungen stets ein hoher technisch-technologischer Stand gewährleistet wird.
Eine große Bedeutung erlangt in zunehmendem Maße die Beherrschung und Anwendung von Nanotechnologien. Durch die ständige Weiterbildung der Mitarbeiter des Applikationszentrum Mikrotechnik auf diesem und auf anderen Gebieten wird der notwendige Vorlauf gesichert. Das Applikationszentrum Mikrotechnik des ifw wird in den nächsten Jahren vor allem mit Hochschuleinrichtungen und anderen Instituten auf dem Gebiet der Nanotechnologien kooperieren und die Erweiterung ihrer technologischen Kompetenzen im Bereich der Nanotechnologie dort vornehmen, wo dies aus Kundennutzen und Marktbedürfnissen heraus erforderlich und wirtschaftlich vertretbar ist.
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